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  • UNIV_LIFE_BY_HUGWAN

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Thin film Deposition(증착 공정) -(3) CVD(Chemical Vapor Deposition) - deposition rate(증착 속도), growth rate, Grove model 저번 PVD 공정에 이어 오늘은 CVD 공정입니다.2024.09.01 - [반도체 연구하기/Semiconductor processing(반도체 공정)] - Deposition process(증착 공정) -(2) PVD(Physical Vapor Deposition) - Sputtering, Reactive Sputtering, Evaporation, PLD, MBE (PVD(Physical Vapor Deposition) Deposition process(증착 공정) -(2) PVD(Physical Vapor Deposition) - Sputtering, Reactive Sputtering, Evaporation, PLD, MBE저번 포스팅에서 반도체에서 Thin Film Deposition을 위한 고려.. 2024. 9. 9.
Deposition process(증착 공정) -(2) PVD(Physical Vapor Deposition) - Sputtering, Reactive Sputtering, Evaporation, PLD, MBE (PVD(Physical Vapor Deposition) 저번 포스팅에서 반도체에서 Thin Film Deposition을 위한 고려사항들을 공부했습니다.2024.08.17 - [반도체 연구하기/Semiconductor processing(반도체 공정)] - Deposition process(증착 공정) -(1) 증착할 때 고려할 것들, PVD, CVD 언제 쓰는지 오늘은 저번 시간에 배운 고려사항을 생각해서어떻게 하면 각각의 변수들을 조절할 수 있는지를 공부할 것입니다. 예를 들어, 저번에 Step coverage에 대해 배웠습니다.Step coverage 가 높을수록 위, 아래, 옆면이 동일하게 증착된다고 했습니다.그러면 Step coverage를 좋게 하려면(uniformity를 높이려면) 어떻게 해야 하는지 오늘 설명하는 것입니다. Deposition .. 2024. 9. 1.
Deposition process(증착 공정) -(1) 증착할 때 고려할 것들/ Step coverage/ Uniformity/ Gap Filling/ PVD, CVD 언제 쓰는지 안녕하세요!오늘은 Deposition, 증착 공정에 대해 포스팅하려고 합니다.Deposition 종류가 너무도 많다보니아마 이 part는 3개의 posting이 될 것 같습니다..그래도 이왕 하는 거면 제대로 공부해야죠! 그래서 시작은 가볍게! 1. What is Deposition?반도체 공정에서는 'Thin Film Deposition'이라고 불립니다.얇은 박막을 형성하기 때문이죠.이 공정은 왜 쓰냐?..(복잡한 회로일수록 층수는 높아집니다.) 위 그림의 맨 위에서 Power, Signal 등의 전류 신호가 들어옵니다.이 전류가 Transistor까지 전달되려면 금속 통로가 필요하겠죠? 따라서 각각의 층을 만들 때 Litho, Etch, Deposition 과정을 거치면서 금속, 유전체 층을 만들어갑.. 2024. 8. 17.
Etching process(식각 공정) -2탄 : wet etching, dry etching 오늘은 etch(식각 공정) 두 번째!etching의 종류에는 wet etching과 dry etching이 존재합니다.2024.08.14 - [반도체 연구하기/Semiconductor processing(반도체 공정)] - Etching process(식각 공정) -1탄 : Anisotropy, etch selectivity, etch rate, etch uniformity, 실제 문제 예시 저번 포스팅에서 etching을 Anisotropy 하게 조절할 수 있다고 했습니다.그 방법 중 하나가 dry etching을 사용하는 것입니다! 오늘은 wet etching과 dry etching에 대해 알아보겠습니다. 1. WET ETCHING일단 wet 이라는게 무엇인가를 액체에 적신다는 의미입니다.따라서 방.. 2024. 8. 15.
Etching process(식각 공정) -1탄 : Anisotropy, etch selectivity, etch rate, etch uniformity, 실제 문제 예시 오늘은 Etching 공정에 관해 배워보겠습니다.저번에 Lithography에 관한 포스팅을 했는데, 보통 Lithography 다음에 오는 공정입니다.2024.08.13 - [반도체 연구하기/Semiconductor processing(반도체 공정)] - Photo Lithography process (포토 공정, 리쏘 공정) 쉽게 이해하기, lift-off 공정을 쓰는 이유 Photo Lithography process (포토 공정, 리쏘 공정) 쉽게 이해하기, lift-off 공정을 쓰는 이유1. What is Lithography process?회로가 그려진 photomask를 이용해서 wafer에 pattern을 만드는 공정.Photo : through light(빛을 통해서)Litho : st.. 2024. 8. 14.
Photo Lithography process (포토 공정, 리쏘 공정) 쉽게 이해하기, lift-off 공정을 쓰는 이유 1. What is Lithography process?회로가 그려진 photomask를 이용해서 wafer에 pattern을 만드는 공정.Photo : through light(빛을 통해서)Litho : stone (웨이퍼에)Graphy : writing (patterning) 이 공정을 그림으로 보면 훨씬 쉽기 때문에 그려봤습니다!Litho 공정은 앞에 노광(exposure), 현상(develop)까지의 과정으로 photoresist를 원하는 모양으로 patterning 하는 공정입니다.photoresist(PR)에 빛을 쏴주게 되면 물질의 성질이 바뀝니다.약해지거나(positive PR)단단해집니다.(negative PR) 위의 그림은 develop했을 때 빛을 받은 부분이 사라졌기 때문에 posi.. 2024. 8. 13.

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